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溅射功率对CrN涂层机械和耐腐蚀性能的影响
作者 :  杜娇娇; 夏航; 张彧卓; 邢伟亮; 寇海江; 张超
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为实现通过反应磁控溅射功率调控CrN涂层的机械和耐腐蚀行为,研究了溅射功率对CrN涂层化学成分、微观结构、机械性能及耐腐蚀性能的影响.结果表明,随着溅射功率的增大,CrN涂层生长结构由致密的层状逐渐转变为稀疏的柱状,且Cr/N原子数比随之降低,诱导涂层由hcp-Cr_2N和fcc-CrN的混合相向fcc-CrN单相转变.CrN涂层显著提高了钢基体的硬度和耐腐蚀性能,且增加溅射功率可以提高CrN涂层的硬度和耐摩擦磨损特性,但受生长结构的影响,涂层的耐腐蚀性能在低溅射功率制备条件下更优异.

关 键 词 :  CrN涂层; 生长结构; 硬度; 摩擦磨损性能; 耐腐蚀性能
论文来源 :  扬州大学学报(自然科学版).2022,(2):45-50
语种 :  中简
所属领域 :  >>> 海洋科学研究 >>> 海洋工程技术研究 >>> 海洋化学工程技术研究
入库时间 :  2022-10-09
浏览次数 :  8